硅晶片多线切割机过滤冷却系统技术说明逻辑电路

硅晶片多线切割机过滤冷却系统技术说明

涤纶电容系统用于硅晶片多线切割机的切削液过滤与冷却，过滤的杂质颗粒的直径一般在10～20微米之间。切削液流量不小于200L/min。切削液冷却后的温度为20℃±2℃。系统出水口处扬程大于10米。最小可过滤直径10微米的固体颗粒。每班工作时间按连续4小时计算，每小时产生约3公斤杂质，体积约1.5L。过滤系统无易损件，清洗、维护方便。系统水箱容积大于500L，分为回流切削液区和供液净化存储区，做重度防腐处理。回流口不锈钢过滤网尺寸应保证最高流量200L/min的切削液顺利通过，应拆卸方便、易于清洗。回流口滤网上方有盖板，盖板上有回流口.回流口盖板、滤网依次取下后，可进行回流箱的手动清洗工作，供液箱也应具备此类盖板，方便清洗、维护。回流箱上安装有搅拌电机，搅拌电机不受切削液系统总启动、停止开关控制，而由专门的启动、停止按钮控制，可以在切削液提升泵停止工作后单独运行，防止回流箱硅粉沉积。回流箱安装有液位计，当液位低于警戒值时，可自动控制一级过滤提升泵停止运转，防止水泵吸入空气。回流箱上有一个溢流回流口，用以接纳因管路内流量、压力等变化而从切割设备溢流管路流回的切削液。采用1英寸自锁型快速接头。烟台云帆过滤系统有限公司提供的整套过滤系统采用4级过滤方式，一级粗过滤采用100～150目不锈钢滤网，用来过滤在切割过程中产生的尺寸稍大的硅碎片，二级过滤采用精度80微米反冲洗不锈钢滚筒过滤，三级采用涡旋分离器过滤精度15-20微米，四级采用双联精密过滤器做精密处理，过滤精度5-10微米。具备液位、温度、流量自动监控及报警功能。采用工业用内置式油冷却机作为冷却装置，对净化存储区的切削液进行温度控制。制冷机制冷量30000瓦。外部供电电压为三相380V。在系统出水口配置切削液温度、流量监测装置，并预留流量监测器与切割机主机控制系统相连的端口。

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